У монографії описано наукові основи та принципи побудови приладової системи для нановимірювань, представлені результати теоретичних та експериментальних досліджень у цій галузі. Проведено аналіз існуючих методів вимірювань у манометровому діапазоні. Розглянуто основні інформаційні параметри, на яких базується кожен описаний метод, та визначено умови їх найбільш ефективного застосування. Виділено основні підходи до класифікації, дослідження та аналізу властивостей наноматеріалів. Монографія призначена для студентів, аспірантів, наукових співробітників, що спеціалізуються у нанометрології. Вона може бути корисна для спеціалістів, що займаються задачами підвищення точності вимірювань у манометровому діапазоні.